收购商场活泼,多所高校及科研机构密布完结设备投标,包括TSV、激光、反响离子、ICP等多种刻蚀工艺。
1198.1万元,为非标定制产品,显示出前沿科研对特别工艺的火急需求。此外,北京科技大学收购的“8英寸超高真空原位刻蚀/蒸腾镀膜体系”由Syskey供给,体现出资料科学研究对高真空与原位处理才能的注重。
国产设备商体现亮眼。北方华创作为国内半导体设备有突出贡献的公司,本月连续中标西安交通大学“等离子体刻蚀机”、福州大学“高密度电感耦合等离子体刻蚀机”与浙江大学“等离子刻蚀工艺剖析试验台”项目,体现出其在高校科研商场的继续浸透力。此外,杭州浙河、中科聚微、山东创世威纳、北京芯微诺达、江苏鲁汶等国内设备商也均有斩获,显示出国产刻蚀设备在多工艺范畴已构成必定竞争力。
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