乐鱼娱乐登录入口:上海微电子中标1台步进式扫描光刻机成交金额11亿元

  据中国政府采购网12月25日发表的公告显现，国产光刻机厂商上海微电子配备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）中标了一台步进式扫描光刻机，成交金额约为1.1亿元。

  在现在的光刻机商场，ASML、佳能以及尼康是最大的三家供货商，占有了全球99%的商场。其间ASML 在中高端光刻机商场更是一家独大，独占超越90%商场，且是全球仅有家具有能够被用于7nm以下工艺制程的EUV光刻机的供货商。近几年来，跟着先进制程的继续推动，ASML凭仗其独家具有的价格超1.5亿美元的EUV光刻机，使得其在光刻机商场出售比例继续提高。

  相比之下，上海微电子因为起步晚，再加上国外的技能封闭，使得其在技能上与国外存在着较大距离。

  早在2002年，光刻机就被列入国家863严重科学技能攻关方案，上海微电子配备有限公司也由此建立。首要是做半导体配备、泛半导体配备以及高端智能配备的规划制作出售。其间光刻设备是公司的主营业务，大范围的运用于集成电路工业链中晶圆制作、封装测验，以及平板显现、高亮度 LED 等范畴。

  到2020年3月，上海微电子直接持有各类专利及专利申请超越3200项，一起经过建造并参加工业知识产权联盟，进一步整合同享了很多联盟成员知识产权资源，触及光刻机、激光与检测、特别运用类等各大产品技能范畴，全方面覆盖了上海微电子产品的首要出售地域。

  官网产品材料显现，上海微电子的光刻设备最重要的包含SSX600系列步进光刻机、SSB500系列步进光刻机、SSB300系列步进光刻机、SSB200小Mask系列曝光机、SSB200大Mask系列曝光机。

  其间，SSX600系列步进扫描投影光刻机选用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技能，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技能，可满意IC前道制作90nm、110nm、280nm要害层和非要害层的光刻工艺需求，可用于8寸产线寸产线系列步进投影光刻机首要运用在于集成电路先进封装范畴，包含Flip Chip、Fan-In、Fan-Out WLP/PLP和2.5D/3D等先进封装方式，可满意Bumping、RDL和TSV等制程的晶圆级/方板级光刻工艺需求。

  SSB300系列步进投影光刻机首要运用在于2~6英寸基底先进光刻范畴，可满意Micro/Mini LED、新式化合物半导体器材和MEMS等芯片制程的光刻工艺需求。

  此次中标公告发布中标的上海微电子的产品型号SSC800/10，尽管官网上未发布这款产品的材料，但经芯智讯核实后发现，这仅仅一台248nm光源的KrF光刻机，分辨率为110nm。