8英寸MEMS晶圆生产线之多晶硅、硅刻蚀机世界招标公告(1)

  苏美达世界技能交易有限公司受招标人托付对下列产品及服务进行世界揭露竞争性招标，于2025-04-24在我国世界招标网公告。本次招标选用传统招标方法，现约请合格招标人参与招标。

  基本原理：在射频电压的效果下，溴化氢和氯气发生的等离子体和多晶硅反响生成四氯化硅和溴化硅，溴化氢一起有侧壁淀积效果，避免侧腐，生成物被抽出腔体，终究到达刻蚀的意图。

  用处：本设备为全新设备，大多数都用在8英寸MEMS器材各种产品生产中多晶硅导线、硅晶圆符号和硅浅槽的刻蚀工艺。

  该设备主要由主操控办理体系，全自动传输体系，1个刻蚀工艺腔，尾气处理体系和相应的射频体系，气路体系，制冷体系、真空体系等模块组成。设备依照满配来装备相关气管、Cable、电磁阀、pμmp liner和gas liner等，便于未来添加工艺腔体（设备主体需求至少保存添加2个工艺腔的ai、ao、di/o、stepper等）。其他参数详见第八章

  招标人应具有的资历或成绩:①招标人如为境内企业，供给企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外公司能够供给企业注册登记证。

  ②招标人能够是设备制作厂家，也能够是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有用授权书。

  ③招标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。

  ④招标人需求具有履行合同所必需的设备技能上的支撑和服务才能（供给相关证明资料或承诺书，承诺书格局自拟）。

  其他阐明:每天9：00—11：30，14：00—17：30（北京时间，节假日在外）不购买招标文件的不得参与招标。联系人邮箱：

  招标文件送达地址:安徽省蚌埠市经济开发区东海大路888号我国传感谷A区L型归纳配套楼5层

  开标地址:安徽省蚌埠市经济开发区东海大路888号我国传感谷A区L型归纳配套楼5层

  地址:安徽省蚌埠市经济开发区东海大路888号我国传感谷A区L型归纳配套楼5层