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感应耦合等离子刻蚀机，又名感应耦合离子刻蚀机、感应耦合等离子平面刻蚀机、等离子技能刻蚀机、感应耦合等离子金属表面处理仪、等离子清洗系统软件等。低温等离子刻蚀，是干法刻蚀中遍及的一种方法，其根底原理是曝露在电子器件区域的汽体发生等离子技能，然后形成的弱电解质汽体和开释开来历能电子器件构成的汽体，从而发生了低温等离子或电离，弱电解质汽体分子依据静电场加速时，会开释开来足够的能量与表层驱逐力牢牢地黏合原材料或蚀刻工艺表层。某一种含义而言，等离子清洗本质上是等离子技能刻蚀的一种较轻度的情况。展开干试蚀刻工艺的机器设备包括反映室、开关电源、真空泵一部分。钢件送进被机械泵抽时间的反映室。汽体被导进并与等离子技能展开交换。等离子技能在钢件表层发生反映，反映的挥发物副产品被机械泵吸走。等离子技能刻蚀加工工艺事实上便是一种反映性低温等离子加工工艺。近的开展的新趋势是在反映室的內部安裝成搁物架方法，这类规划的详细计划的是颇具延展性的，客户可以 移去铁架子来装备合适的等离子技能的蚀刻工艺方法：反映性等离子技能（RIE），顺水等离子技能（downstream），当即等离子技能（directionplasma）。