西方认为封闭高端芯片设备就能让我国停步。实际是,我国工程师用笨办法造出了5纳米芯片,打破了他们的高傲。林本坚的极限思想,让西方传统技能逻辑完全翻车。今日的半导体竞赛,谁还敢说“全部靠EUV”?
林本坚出生于1942年,在IBM干了22年,又在台积电担任研制。他终身专心于光的波长与光刻技能,当全职业都在烧钱追157纳米干式光刻时,他提出“滋润式光刻”,在镜头和晶圆之间参加一层水,把光波折射成更短的波长。
这个主意其时只要ASML信,尼康不信,成果ASML成为半导体设备霸主,尼康被甩在后面。林本坚从始至终坚持自己的判别,他着重工程实践远比理论评论重要。“你越封闭,我越逼着自己找到路。”这句话后来成为我国半导体打破的线年,他又提出“多重曝光”道路。EUV光刻机尽管先进,但价格高、依靠外部供给,封闭下底子不可靠。他指出:波长不行短,就多刻几回,每一次重复曝光都是向极限迫临。美国人不理解这种思路,认为没有EUV我国不可能做到5纳米。成果事实上,他们错了。
这一进程价值巨大:流片一次本钱约3亿块钱,良率仅50%。比较台积电90%的老练良率,这看似亏本,但生计逻辑不同。军用芯片、服务器芯片、高装备手机芯片,不是讲赢利,而是“有没有”的不同。我国市场巨大,哪怕良率低,也能把本钱摊平。
历史上,英特尔测验相似技能冲击10纳米项目失利。美国认为我国也做不到,但林本坚和中芯国际团队坚持下来了。成果,华为Mate60的麒麟9000S和中芯5纳米生产线相继验证了这一道路。美国SIA陈述不得不供认,我国在没有EUV的情况下完成5纳米量产,比预期快18个月。
对普通人而言,这在某种程度上预示着未来国产芯片能在高端设备上逐渐脱离依靠,信息安全和供给链安全有保证。对工业来说,这种“笨办法”的成功,为我国半导体供给了战略底气。对西方来说,这是一次深入警醒:单靠封闭和独占,不可能阻挠我国的技能自立。
5纳米芯片打破,不只打破西方技能迷信,也改变了全球半导体格式。曩昔的逻辑是“谁有EUV谁是老迈”,现在的逻辑是“谁能把现有设备用到极限,谁就把握话语权”。林本坚的思路和我国工程师的坚持告知国际:封闭只会催生立异,高傲会被实际打脸。