2026年全球半导体晶圆处理系统行业分析报告

　

  

  2023年全球半导体晶圆处理系统市场规模约111亿元，预计未来将持续保持平稳增长的态势，到2030年市场规模将接近163.4亿元，未来六年CAGR为6.0%。

  晶圆传输结构包括前端的EFEM和后段的TM。设备前端的传送模块（EFEM，Equipment Front End Module），基本功能为将晶圆搬运至设备的 TM 腔，以及将完成加工的晶圆从 TM 腔搬出，其核心部件为一个大气机械手（ATM robot，因其工作环境远离反应腔，为大气环境），业内主要供应商为日本 RORZE、美国Brooks 和国内的沈阳新松。不仅是等离子体薄膜/刻蚀设备，大多数单片加工的设备均有这一模块，如光刻机、单片清洗机、涂胶显影机、CMP 等。而设备后段的传输平腔（TM，transfer module），其作用是连接 EFEM 和反应腔（PM），并承担晶圆传输的作用。在等离子体薄膜/刻蚀设备中，传输腔一般为真空环境（VTM，vaccum transfer module）。传输腔的主要组成包括腔体、中央的真空机械手、传输腔与反应腔连接处的门阀，以及各种真空密封件。

  晶圆大气传输系统最重要的包含EFEM（半导体设备前置模块）和Sorter（晶圆传片设备）。

  EFEM（半导体设备前置模块）从属于半导体生产设备，其内部主要由化学蒸汽过滤器、空气过滤器、离子发生器、晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆载运盒、自动化控制模块等组成，其中晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）、晶圆对准装置（Aligner）是最核心的三大部件。晶圆倒片机(Wafer SORTER)是用于半导体制造业的过程设备，通过设备内部的微环境保证倒片过程的洁净要求，实现Wafer的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序。

  半导体晶圆处理系统，目前全球核心生产商主要分布在美国、日本、韩国、中国大陆和中国台湾等地区。

  消费层面来说，目前中国地区是全球最大的消费市场，2024年占有35.58%的市场占有率，之后是北美和日本，分别占有32.8%和11.8%。

  从生产商来说，全世界内，EFEM和Sorter核心厂商最重要的包含RORZE乐孜芯创、Brooks布鲁克斯、Hirata平田、Sinfonia昕芙旎雅、Cymechs Inc、三和技研PHT菲科半导体、上海果纳半导体、上海广川科技、沈阳新松半导体和上海大族富创得等，2023年全球前十大厂商占有83%的市场份额。

  自2019年美国对中国半导体进行限制后，近几年中国市场非常活跃，半导体各产业链环节涌现出大量本土厂商，截止目前为止，中国本土厂商已占据国内EFEM和Sorter市场超过50%的比重。预计接下来，中国本土市场的竞争将会慢慢的激烈。机会与风险并存。

  全球半导体行业规模巨大，根据世界半导体贸易统计组织（WSTS）数据，2023年全球半导体行业总体规模为5268亿美元，相对2022年同比下降8.2%。半导体晶圆转移系统的发展和半导体整体行业发展的新趋势息息相关 。

  （1）全球市场总体规模，分别按销量和按收入进行了统计分析，历史数据2019-2023年，预测数据2024至2030年。

  （2）全球市场之间的竞争格局，全球市场头部企业半导体晶圆处理系统销量、收入、价格、市场占有率及行业排名，数据2019-2023年。

  （3）中国市场之间的竞争格局，中国市场头部企业半导体晶圆处理系统销量、收入、价格、市场占有率及行业排名，数据2019-2023年，包括国际企业及中国本土企业。

  第1章：半导体晶圆处理系统定义及分类、全球及中国市场规模（按销量和按收入计）、行业发展机遇、挑战、趋势及政策

  第2章：全球半导体晶圆处理系统头部厂商，销量和收入市场占有率及排名，全球半导体晶圆处理系统产地分布等。

  第10章：全球半导体晶圆处理系统头部厂商基本情况介绍，包括公司简介、半导体晶圆处理系统产品型号、销量、收入、价格及最新动态等

  12月8日，中国香港演员李子雄发布视频，斥责有人不顾他人安危进行高空黑飞，挑战航空安全底线：“这不是飞无人机啊，这是拿飞机上的人开玩笑。

  12月9日晚，一份名为《福建医科大学附属第一医院关于对张水华的处理决定》(下称《处理决定》)在网络上流传，该《处理决定》显示，张水华存在违规兼职取酬、以虚假理由获得调休的行为，据此，其被医院警告处分6个月，并且在医院2025年年度考核中，不能确定为优秀档次。

  今冬的第三场寒潮要来了！12月10日至13日它将自西向东影响我国由于前期各地气温较高降温将会非常猛烈今明天，合肥、南京、武汉、长沙、南昌最高气温都在20℃上下，较常年同期偏高10℃左右。不过寒潮即将扭转偏暖的状态。

  ️线路规划:项目起点位于郑州市荥阳市贾峪镇周新庄东南，设置马米路枢纽互通与郑州西南绕城高速相交，终点位于洛阳市伊滨区刘窑西，设置龙门枢纽互通与二广高速相交，路线公里。

  “情侣先后坠楼”男方家属索赔超百万元！律师解读：若女方家被证实未及时救治等，或部分担责

  2025年11月24日，湖南娄底双峰县青树坪镇发生一起情侣先后坠楼身亡事故，引发广泛关注。11月27日，当地通报称，曾某某于当日凌晨在青树坪镇一自建房意外坠楼身亡。

  近日安徽宿州一名女子引发关注她天生双手一共12根手指且家中姐弟多人都是“六指”其因为乐观的生活态度圈粉百万记者看出，这位女子在自己发的视频中，并没有因自己的手与众不同而自卑，反而时常展示自己的双手。

  入冬后，洛阳孟津黄河湿地保护区内迎来了70余只越冬的“鸟中大熊猫”黑鹳，吸引了来自北京、辽宁、湖北、湖南等全国各地鸟类爱好者前来拍摄，他们架起了“长枪短炮”，捕捉黑鹳活动的精彩瞬间，不时传出一声惊叹。

  假五粮液、假茅台堆成山！宜宾警方一口气销毁约2000万元的1.76万瓶假酒等 三年来查获假酒案值已超4亿元

  贵州茅台原董事长张德芹已任贵州省工商联党组副书记#贵州茅台 #张德芹 #贵州省

  12月5日，四川宜宾现场销毁假冒茅台、五粮液、泸州老窖等名优白酒17600瓶，各类包装材料8.6万余件（套），以及制假工具一批。据估算，被销毁的成品及半成品假酒按正品市场价计算，货值高达2000余万元。

  你会觉得我太傻了吗？认为我只是个活在梦里的家伙？可你知道吗？这世上有着无数和我一样的人。我们或许从未谋面，却都怀着同样的心愿，心中那份对美好的渴望从未熄灭过。真希望有一天，你也能和我们大家一起走在这条路上。和那些同样渴望改变的人一起，去迎接那个我们心中无数次描绘过的未来。