江苏鲁汶仪器获得一种等离子体刻蚀设备专利进步刻蚀均匀性

  国家知识产权局信息数据显现，江苏鲁汶仪器股份有限公司获得一项名为“一种等离子体刻蚀设备”的专利，授权公告号CN223638326U，请求日期为2024年12月。

  专利摘要显现，本请求公开了一种等离子体刻蚀设备，触及等离子体处理范畴，包含：等离子体反响腔室、射频组件和偏压电极组件；其间，所述偏压电极组件包含：静电吸盘，所述静电吸盘包含层叠的榜首组成结构和第二组成结构，所述第二组成结构远离所述榜首组成结构的一侧放置所述晶圆，所述榜首组成结构供给偏压电场，所述工艺气体在所述偏压电场的效果下向所述晶圆移动，所述榜首组成结构包含至少两个支撑结构，所述支撑结构为导电结构，不同所述支撑结构之间设置有绝缘分隔结构；电压操控组件，所述电压操控组件包含至少两个输出端，不同所述支撑结构经过不同所述输出端供给偏压信号。该等离子体刻蚀设备能进步刻蚀均匀性。

  天眼查资料显现，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，坐落徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。经过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外出资了3家企业，参加招投标项目254次，产业线条，此外企业还具有行政许可14个。

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