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上海伯东日本原装进口合适小规模量产运用和实验室研讨的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 无污染, 内部运用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 发生炮击离子; 结尾检出器选用 Pfeiffer 剩余质谱监测当时气体成分, 判别刻蚀状况.
1. 干式制程的微细加工设备, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等范畴的开发研讨及量产得以广泛应用.
2. 物理蚀刻的特性, 不管运用什么资料都可拿来加工, 所以各种范畴都可以被广泛应用.
4. 射频视点能随意调整, 蚀刻可以精确的经过需要做笔直, 斜面等等加工形状.
7. 机台规划运用自动化的操作的进程, 所以能有很友爱的运用出产的悉数进程.