服务热线
010-6756 6879
长处:各向异性好，挑选比高，可控性、灵活性、重复性好，细线条操作安全，易完结自动化，无化学废液，处理进程未引进污染，洁净度高。
原理：当在平板电极之间施加高频电压时会发生数百微米厚的离子层，在其中放入试样，离子高速碰击试样而完结化学反响刻蚀。
•机理：物理性的离子轰击和化学反响相结合完结的刻蚀。离子轰击改进化学刻蚀效果。
传统的RIE设备结构相对比较简单、价格较低价。经过恰当挑选反响气体、气压、流量和射频功率，可以取得较快的刻蚀速率和杰出的各向异性。