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1. 干式制程的微细加工设备，使得在薄膜磁头，半导体元件， MR sensor 等范畴的开发研讨及量产得以广泛应用。
2. 物理蚀刻的特性，不管运用什么资料都可拿来加工，所以各种范畴都可以被广泛应用。
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