等离子体刻蚀 NRE-4000型RIE-PE刻蚀机 那诺-马斯特

  提供PC控制的PE刻蚀RIE刻蚀一体机，配套有淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2“的视窗,另一个空置用于诊断.该系统能支持Z大到12“的晶圆片。腔体为超净设计，线 Torr 或更小的极限线Torr之间的真空下工作。

  NRE-4000型RIE-PE刻蚀机概述：NRE-4000是一款独立式PE刻蚀RIE刻蚀一体机，配套有淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口：一个带有2的视窗,另一个空置用于诊断.该系统能支持至大到12的晶圆片。腔体为超净设计，并且根据配套的线Torr 或更小的极限线Torr之间的真空下工作。真空泵组包含一个节流阀,一个250l/s的涡轮分子泵,滤网过滤器,以及一个10cfm的机械泵(带Formblin泵油).RF射频功率通过600W,13.56MHz的电源和自动调谐器提供。系统将持续监控直流自偏压,该自偏压可以高达-500V.这对于各向异性的刻蚀至关重要。

  NRE-4000型RIE-PE刻蚀机是基于PC控制的全自动系统.系统真空压力及DC直流偏压将以图形格式实时显示,流量及功率则以数字形式实时显示.系统提供密码保护的四级访问功能:操作员级、工程师级、工艺人员级,以及维护人员级.允许半自动模式(工程师模式)、写程序模式(工艺模式), 和全自动执行程序模式(操作模式)运行系统。基于全自动的控制，该系统具有高度的可重复性。

  NRE-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统，占地面积26“D x 26W

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  原子层沉积设备 NLD-4000（A）全自动原子层沉积系统 那诺-马斯特

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  原装进口清洗机 SWC-3000兆声晶圆（掩模版）清洗机 那诺-马斯特

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  磁控溅射仪 NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机 那诺-马斯特

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  NSC-3500全自动磁控溅射镀膜机概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6旋转平台，支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限线 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，能够得到想要的均匀度和沉积速度。NSC-3500带有14”立方形不锈钢腔体，3个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。

  NSC-3500全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6旋转平台，支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限线 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，能够得到想要的均匀度和沉积速度。NSC-3500带有14”立方形不锈钢腔体，3个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，350 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。

  NDT-4000热线是NANO-MASTER进口热真空系统，用于极真空及可控均匀的加热和冷却循环套件下测试器件或样品。该系统具有计算机控制、安全连锁，以及多级密码授权访问保护的功能。它能够适用于超过24小时的圈子全自动热、冷循环情况下测试器件/样品，温度条件通过程序定义。该系统Z通常的应用之一是太空模拟。

  空间环境模拟试验设备：NDT-4000是NANO-MASTER器件检测系统，用于极真空及可控均匀的加热和冷却循环套件下测试器件或样品。该系统具有计算机控制、安全连锁，以及多级密码授权访问保护的功能。它能够适用于超过24小时的圈子全自动热、冷循环情况下测试器件/样品，温度条件通过程序定义。该系统Z通常的应用之一是太空模拟。

  热真空环境模拟试验设备：NDT-4000是NANO-MASTER器件检测系统，用于极真空及可控均匀的加热和冷却循环套件下测试器件或样品。该系统具有计算机控制、安全连锁，以及多级密码授权访问保护的功能。它能够适用于超过24小时的圈子全自动热、冷循环情况下测试器件/样品，温度条件通过程序定义。该系统Z通常的应用之一是太空模拟。

  晶圆清洗机 LSC-5000全自动兆声大基片湿法去胶系统 那诺-马斯特

  LSC-5000全自动兆声大基片湿法去胶系统：Nano-Master兆声大基片湿法刻蚀系统提供高可重复性、高均匀性及的兆声清洗、兆声辅助下光刻胶剥离，以及湿法刻蚀。该系统为全自动机械手上下载片，可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。