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NRE-4000：依据PC计算机全主动操控的独立式体系，占地面积26“D x 44W
NRE-3500：依据PC计算机全主动操控的紧凑型独立式体系，占地面积26“D x 26W
NRE-3000：依据PC计算机全主动操控的台式体系，占地面积26“D x 26W
是依据PC操控的全主动体系.体系真空压力及DC直流偏压将以图形格局实时显现,流量及功率则以数字方式实时显现.体系供给密码保护的四级拜访功用:操作员级、工程师级、工艺人员级,以及保护人员级.答应半主动形式(工程师形式)、写程序形式(工艺形式), 和全主动履行程序形式(操作形式)运转体系。依据全主动的操控，该体系具有高度的可重复性。
概述：NRE-4000是一款独立式PE刻蚀RIE刻蚀一体机，配套有淋浴头气体散布设备以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2的视窗,另一个空置用于确诊.该体系能支撑zui大到12的晶圆片。腔体为超净规划，而且依据配套的线Torr 或更小的极限线Torr之间的真空下作业。真空泵组包括一个节流阀,一个250l/s的涡轮分子泵,滤网过滤器,以及一个10cfm的机械泵(带Formblin泵油).RF射频功率经过600W,13.56MHz的电源和主动调谐器供给。体系将继续监控直流自偏压,该自偏压能够高达-500V.这关于各向异性的刻蚀至关重要。