TEL显示集群总经理归山武郎：技术革新驱动显示产业绿色发展

  单元以及数字化解决方案，大幅度的提高显示设备生产效率，同时推动环境负荷降低，助力净零排放目标实现。

  TEL成立于1963年11月11日，即将迎来63周年纪念日。凭借六十余年的技术积淀与市场深耕，公司取得了亮眼的业绩，上一财年实现净销售额2.4315万亿日元，盈利6973亿日元，营业利润率达28.7%，创下历史最佳业绩。

  目前，TEL在全球18个国家和地区设有26家公司、95个据点，预计不久后将突破100个据点，构建起覆盖全球的服务网络。在中国市场，TEL同样布局深远。1998年设立的东电电子（上海）有限公司，如今已迈入第28个年头，在全国主要客户工厂附近设立据点。2011年成立的东电光电半导体设备（昆山）有限公司，不仅专注于零部件维修等服务，还承担着8代线显示设备输送系统的制造与全球供应任务，截至2025年4月1日，上海公司已拥有1132名正式员工。

  对于显示行业的未来走向，归山武郎介绍道：“从技术路线来看，现有智能手机、笔记本电脑、显示器、车载显示、电视等主流市场，主要是采用6代线代线玻璃基板量产，同时晶圆上的制程也已开始拓展。TEL的制造技术可全面适配这些应用场景。”在

  OLED市场，增长潜力尤为突出。归山武郎提出：“智能手机领域OLED渗透率的年复合增长率预计为6%，而IT领域OLED的年复合增长率将达到33%，呈现快速地增长态势。据悉，苹果公司计划在2026年推出OLED笔记本电脑，这将逐步推动市场发展。”面对IT OLED器件结构的多样化演进，背板技术从LTPO向H-MOx拓展，前板技术从传统FMM蒸镀向光刻图案化、喷墨印刷等方式升级，TEL干法刻蚀机的最新技术，将为这些创新提供支撑。为满足显示行业一直在升级的需求，

  TEL持续迭代核心产品与解决方案。归山武郎指出：“TEL自主研发的等离子模式PICP EX Plus，可以在一定程度上完成极高的刻蚀均一性，搭配针对低电阻配线材料腐蚀问题的APX单元，可广泛适配客户的各类器件需求。我们将持续升级面向8代线的PICP EX Plus和APX，助力客户攻克技术难题。”针对

  Gate Ti/Al/Ti材料的低锥度与高生产性兼顾需求，以及H-MOx背板GI刻蚀的高均一性要求，TEL正在推进PICP EX Plus升级型号的研发，计划2027年后正式推向市场，其SiO₂刻蚀均一性可控制在±5%以内。在腐蚀防护方面，TEL专为Gate Ti/Al/Ti材料开发了新型APXZ单元，将Cl₂去除效率提升27.6%，大大降低腐蚀风险。数字化解决方案的升级同样需要我们来关注。归山武郎表示：“我们通过‘数据解决方案’挖掘设备内数据价值，提升稼动率与生产性；借助‘摄像头监控解决方案’实现腔室内可视化监控，助力故障预防与早期发现。目前这些功能均已通过验证并开始向客户导入。”

  Technology Enabling Life（技术赋能生活）是TEL的企业理念，涵盖了公司的基本理念、经营方针、愿景和TEL价值观。”归山武郎强调，TEL已明确14个可持续发展重点课题，通过业务运营推进可持续发展举措，为解决行业与社会问题贡献力量。其中，环境保护是核心目标之一。归山武郎表示，

  TEL将积极地推进设施和产品的环保举措。APX单元作为TEL绿色技术的典型代表，采用非等离子工艺，无需使用高温室效应的CF系气体，大幅度降低能源消耗，每台设备每年可减少178吨二氧化碳排放，既保证了生产价值，又实现了环境价值。